今天，樂知網律師 給大家分享：環形水冷屏創新設計：提升單晶加工效率的實用新型專利講解 。


XD天合光近期獲得了一項實用新型專利授權，該專利名為“環形水冷屏及單晶加工裝置”。

該實用新型專利的核心在于環形水冷屏的設計，它結合了冷屏本體和連通管，通過獨特的結構布局，實現了對單晶加工過程中晶棒的高效冷卻。

冷屏本體由第一段和第二段組成，沿晶棒的拉伸方向排布，每一段均由內壁和外壁構成，形成了獨立的空間。

特別地，兩段之間通過連通管連接，使得冷卻液體能夠在兩個空間內循環流動，形成溫差。

環形水冷結構設計：傳統的水冷屏通常采用平面結構，而該專利采用環形設計，不僅增加了冷卻面積，而且使得冷卻液體能夠更均勻地分布在晶棒周圍，提高了冷卻效果。

連通管連接兩空間：連通管的設計使得第一空間和第二空間內的冷卻液體能夠相互流通，形成溫差。

這種溫差有助于在單晶加工過程中形成更穩定的溫度場，從而提高了硅單晶體的生產效率。

提高生產效率：通過優化水冷屏的結構設計，該專利實現了對單晶加工過程中晶棒的高效冷卻，減少了加工過程中的熱應力，提高了硅單晶體的質量和生產效率。

XD天合光在2023年研發投入了15.43億元，同比增長26.42%，今年以來，公司新獲專利授權220個，較去年同期增加了185.71%。


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